探針 Z_SURF
這一指令用來核對法向於 Y 軸之曲面上點的位置。欲確定的點會在 VERIFY 指令執行後的下一個 GOTO 點指出。其運動必然是一條沿著指定軸，以快速進給率從目前方位（調用 VERIFY 之前最後的 GOTO 點）移到與目標點有一段間隙距離之處的直線。
發出的 CL 指令
VERIFY / XYZ, ZAXIS, [, CLEAR, a] [, PERMIN, b] ( , OSETNO, c )
IPM ADJUST
MMPM
參數說明
CLEAR, a
指出與目標點之間距離的一個可選對，該目標點的進給率從 RAPID 變成進給率值。(此對與 PROBE / RANGE、TO、a、PAST、b 指令行搭配使用。) 如果未指定間隙值，則會使用 PROBE / RANGE 指令中的 u201cau201d 的值。如果這兩個值都已經指定，間隙會使用此兩個值中較大的數值。
PERMIN, b
IPM
MMPM
用於探測進給率和單位的可選對；如果未指定，則會使用最後指定的進給速度。
OSETNO, c
指出目標點和量測值之間的差異。此差異將會出現在註冊 u201ccu201d 中。對探針運動沒有任何影響。
ADJUST
指出機器應該調整，以補償目標點和量測點之間的差異。
CL 檔案範例和運動
序列：
RAPID
GOTO / 0, 0, 4.0
VERIFY / XYZ, ZAXIS, CLEAR, 0.75, IPM, 8.0, OSETNO, 64
GOTO / 1.50, 1.00, 0.0
應延展為下列運動：
RAPID
GOTO/ 0, 0, 4
RAPID
GOTO / 1.50, 1.00, 0.75
FEDRAT / 8.0, IPM
GOTO / 1.50, 1.00, .125
GOTO / 1.50, 1.00, 0.75