「空蝕」與多相模組中所述沸騰的物理過程相同。基本上，空蝕與沸騰都是指液相與汽相之間的蒸發與凝結。但是，觸發相變的機制有所不同。空蝕主要是由流體系統中壓力銳變產生的機械效應造成的。沸騰是由於液體氣化壓力上升到其當地環境壓力以上而致使相從液體變為蒸汽的熱效應。因此，空蝕通常獨立於熱相變處理，由於空蝕過程速度過快，無法假設液汽界面處存在熱平衡。在許多標準空蝕模型中，質量傳遞被視為完全由液汽壓差驅動。但是，透過允許相密度與飽和蒸汽壓力作為溫度的函數，還會包括熱效應。

在 Creo Flow Analysis 中，空蝕流會被視為液汽混合物，其密度取決於空蝕產生的蒸汽含量以及液體中存在的其他氣體成分 (如不凝結氣體、溶解氣體等)。會針對混合物速度、壓力、溫度 (如果考慮熱效應)、亂流和其他物理量 (例如不凝結氣體與溶解氣體) 求解純量傳輸方程式。出現空蝕時，還必須額外求解一個蒸汽方程式，才能確定流體混合物內產生與傳輸的蒸汽量。本節說明 Creo Flow Analysis 中的可用建模理論與空蝕模型。具體如下所示：